因老式的二氧化碳噴霧器輸出常常是一個(gè)鋸齒形, 不穩(wěn)定, 一致性也不好, 如果用一個(gè)分光計(jì)去分析下游的純凈度時(shí), 將會(huì)發(fā)現(xiàn)有許多二氧化碳的殘留，現(xiàn)使用zui多的是DI 水噴霧器和超純水噴霧器。

CRF-3是的一款DI水噴霧器，該儀器利用超聲霧化的原理,將DI水霧化成1-10 微米左右的大量水滴, 建立一個(gè)氣溶膠, 于是在4-6 磅的背壓下由風(fēng)扇吹出, 可以顯示出潔凈室氣流組織狀態(tài), 發(fā)現(xiàn)湍流。

CRF-3可以滿(mǎn)足多方面的應(yīng)用，如100級(jí)及以上級(jí)別的凈化車(chē)間，這個(gè)小的，易用的工具可以?xún)H僅使用DI水就可以顯示出在控制區(qū)域的氣流組織和湍流現(xiàn)象，噴霧輸出大約在60 華氏度，單個(gè)風(fēng)扇吹出4CFM的霧量，持續(xù)約30 分鐘，開(kāi)關(guān)控制噴霧，100-10000 級(jí)凈化車(chē)間用16 兆歐DI 水，1-10 級(jí)凈化車(chē)間需要64 兆歐的DI水。